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    1. 產品詳情
      • 產品名稱:三源高真空蒸發鍍膜儀

      • 產品型號:CY-1800X-TE3-SS
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學元件 納米與微電子 太陽能電池
      詳情介紹:

      三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

       三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹:

       本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

       三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:

      金屬和介電膜

      薄膜傳感器的制造

      光學元件

      納米與微電子

      太陽能電池

        三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數:

      三源高真空蒸發鍍膜儀

      樣品臺

      尺寸

      *大支持φ150mm樣品

      功能

      可旋轉,*高加熱500

      蒸發源

      數量

      鎢舟x3

      電源

      每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源共三組獨立電源

      真空腔體

      腔體尺寸

      φ300x400mm

      觀察窗口

      前置φ100mm

      腔體材料

      304不銹鋼

      開啟方式

      前開門式

      膜厚控制(選配)

      晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

      真空系統

      前級泵

      雙極旋片泵

      抽氣接口

      KF16

      次級泵

      渦輪分子泵

      抽氣接口

      CF160

      真空測量

      電阻+電離

      復合真空規

      排氣速率

      機械泵1.1L/s

      分子泵 600L/s

      極限真空

      1.0E-5Pa

      供電電源

      AC 220V 50/60Hz

      抽氣速率

      旋片泵:1.1L/S

      控制系統

      PLC自動控制

      操作界面:觸控屏+操作面板

      (觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入;用戶友好 PLC 軟件系統,可以通過網絡更新)

       

      其他

      供電電壓

      AC380V,50Hz

      整機尺寸

      1000mm X 800mm X 1500mm

      整機功率

      5kW

      整機重量

      350kg

      豫公網安備 41019702002438號

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