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    1. 產品詳情
      • 產品名稱:全自動超聲波氣氛加熱勻膠機

      • 產品型號:CY-SPC-HUA12
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。加熱勻膠機也可以單獨進行旋涂操作
      詳情介紹:

      超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件,可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內,在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰zzui大圓晶尺寸為12英寸,轉速可達3000rpm,加速度可達2000rpm;具有轉速穩定,啟動迅速,操作方便等優點,并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優良的產品.

      加熱勻膠機產品特征:

      1. 采用直流無刷電機,單片機控制

      2. 高清晰觸摸屏控制

      3. 可進行單步多步勻膠操作,可存儲五種程序,每種程序可設置五步操作

      4. 防堵膠設計

      5. 鋁合金腔體,堅固耐用

      6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進行多種輔助

      超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數:

      產品名稱

      超聲波輔助氣氛勻膠機

      圓晶尺寸

      12英寸

      旋轉速度

      30~3000rpm可調

      旋轉加速度

      30~2000rpm/s可調

      單次zui長勻膠時間

      3000s

      勻膠腔體尺寸

      φ390mm*90mm

      電壓

      220V 50Hz

      功率

      1.5KW

      加熱溫度

      0-100

      質保時間

      易損件除外,1年,終身技術支持

      勻膠機真空吸盤

      12寸 一個(標配);6寸 一個(定制)

      勻膠機定制純機械卡盤

      12英寸 一個(額外定制);6英寸 一個(額外定制)

      無油真空泵

      型號:AP-2000V

      功率:0.55kw

      zui低真空度:-700mmHg;-92Kpa

      zui大空氣流量:200L/min;12M3/h

      重量:10kg

       

      超聲波系統

      霧化頭材質

      鈦合金

      頻率

      50kHz

      功率

      30W

      流量

      0.55mL/s

      微粒直徑

      25um

      霧化頭類型

      錐型

      霧化頭重量

      0.3kg

      超聲波電源尺寸

      315*312*135mm

      超聲波電源重量

      5kg

       

      注射泵

      流量范圍

      0.001uL/min-43.349mL/min

      掉電記憶工能

      保存設置參數,重新上電后,無需設置

      適用進樣器規格

      10uL-1000uL

      適用注射器規格

      1mL-60mL

      加熱溫度

      0-100

      線速度范圍

      5um/min-65um/min

      線速度調節分辨率

      5um/min

      zui大行程

      140mm

      行程分辨率

      0.156um

      額定線性推力

      >90N

       

      流量計

      控制氣體種類

      2

      氣體流速

      16-160mL/min

      豫公網安備 41019702002438號

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