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    1. 產品詳情
      • 產品名稱:臺式緊湊型三靶磁控濺射鍍膜儀

      • 產品型號:CY-VTC-3DC
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統,主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積,實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置
      詳情介紹:

      CY-VTC-3DC是專為非金屬薄膜鍍膜設計的三頭2"射頻等離子磁控濺射系統,主要用于多層氧化物薄膜,是新一代氧化物薄膜研究中性價比*高的鍍膜機 . 直流磁控濺射選項可根據要求提供金屬薄膜沉積,實現三個直流、一個射頻/兩個直流和兩個射頻/一個直流濺射頭配置.

      磁控濺射鍍膜儀技術參數:

      輸入功率
       

      ·單相110V AC,50/60Hz

      ·1000W(含真空泵和冷水機)

      磁控濺射靶
       

      ·包括三個帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭,通過快速夾具插入石英室

      ·射頻電纜更換可在CYKY購買

      ·法蘭上內置一個手動百葉窗

      ·包括一臺10L/min數控循環冷水機,用于冷卻濺射頭

      濺射靶材

      ·靶材尺寸要求:2" 直徑 x 1/8" *大厚度

      ·濺射距離范圍:50-80mm可調

      ·濺射角度范圍:0-25°可調

      ·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測試

      ·可根據要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材,但需額外付費

      ·對于目標鍵合,包括 1 mm 2 mm 銅背板。

      真空腔體

      ·真空腔體:300 毫米外徑 x 500 毫米高,由不銹鋼制成

      ·密封法蘭:直徑274毫米。由鋁制成,帶有高溫硅膠O型圈

      ·包括不銹鋼屏蔽籠,100% 屏蔽來自腔室的射頻輻射

      ·*大真空度:1.0E-5 Torr,可選配渦輪泵和腔體烘烤

      樣品臺

      ·樣品臺是一個可旋轉的加熱臺,由陶瓷加熱器制成,帶有不銹鋼蓋

      ·樣品臺尺寸:直徑50毫米,適合*大 2" 晶圓

      ·轉速:1-10轉可調,涂層均勻

      ·支架溫度可從室溫調節至*高 600 °C600 °C 時*高 5 分鐘;500 °C 時*高 2 小時),通過數字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C

      真空泵 

      ·內置KF40真空接口,用于連接真空泵。

      ·真空度:1.0E-2 Torr 含雙級機械泵

      1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵

      整機尺寸

      540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

      包裝重量

      大約 145 kg

      保修單

      一年有限保修,終身支持

      是否支持定制

       

      豫公網安備 41019702002438號

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