• <noscript id="zdddu"><i id="zdddu"></i></noscript>

    1. <dfn id="zdddu"></dfn>

    <dfn id="zdddu"><i id="zdddu"></i></dfn>
    1. 新聞詳情
      所在位置: 首頁> 公司新聞> 公司新聞>

      RTP快速退火爐的組成

      日期:2022-11-14 09:06
      瀏覽次數:89
      摘要:
       
      RTP快速退火爐主要由真空腔室、加熱室、進氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成。
      真空腔室:真空腔室是快速退火爐的工作空間,晶圓在這里進行快速熱處理。
      加熱室:加熱室以多個紅外燈管為加熱元件,以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
      進氣系統:真空腔室尾部有進氣孔,準確控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
      真空系統:在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥,可以有效確保腔室真空度,同時避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。
      溫度控制系統:溫度控制系統由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
      氣冷系統:真空腔室的冷卻是通過進氣系統向腔室內充入惰性氣體,來加速冷卻被熱處理的工件,滿足工藝使用要求。
      水冷系統:水冷系統主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。




      尊敬的客戶:
        本公司還有真空鍍膜設備、金剛石線切割機等產品,您可以通過網頁撥打本公司的服務電話了解更多產品的詳細信息,至善至美的服務是我們的追求,歡迎新老客戶放心選購自己心儀產品,我們將竭誠為您服務!
       

      豫公網安備 41019702002438號

      国模私拍AV在线播放,国模私拍不卡一区二区,国模私拍精品一区二区,国模私拍啪啪AV,国模私拍啪啪一区二区三区